多晶硅高温尾气处理

文章出处：康爱特人气：发表时间：2018-9-14

多晶硅作为制作太阳能电池的主要原料，近年来得到巨大发展。不管是改良西门子法还是硅烷法生产工艺中都存在大量过滤分离器，用于硅粉收集、氯硅烷循环洗涤、循环水再利用等工序。结合诸多项目经验，康爱特提出了自己的过滤工艺解决方案。

污染物及杂质：

未完全反应的硅粉颗粒
循环液带入的管道中的杂质
进料带入的固体粉尘与杂质
合成反应生成的固体杂质

这些颗粒的存在是影响生产稳定、换热效率的重要原因。高效的过滤与分离装置不仅保护了生产设备的工艺安全，同时也提升了产品产量。

高温尾气净化

尾气过滤应用在多晶硅生产的各个工艺段,对多晶硅的生产起到重要作用,尤其目前行业低位运行期间,对多晶硅产品降低成本至关重要.

a.废气废液工位的烟气过滤
b.还原炉尾气分离
c.氢化炉尾气分离
d.硅粉槽硅粉过滤等。

1、还原尾气分离

在SiCl4氢化气和SiHCl3还原气通过干法分离后，H2和HCl得以回收利用，在H2回用前需过滤气体中含有的未反应硅粉和生成的石墨粉，保证氢气纯净，使氢化反应和还原反应更稳定、高效。

问题：	要求：	解决：
氢气为高危气体	过滤器密封性能良好	采用自动反吹系统，无须打开滤器，减少内件更换频次，避免泄露可能
石墨粉/硅粉颗粒粒径微小，硬度高。	过滤精度要求高，防止内件穿透。	采用独特的烧结金属毡内件，过滤孔径稳定，保证过滤性能,过滤精度可达0.1um-0.5um
尾气温度高	抗温要求高。避免降温处理带来的一系列问题。	康爱特采用高温直接处理工艺，避免降温处理带来管道腐蚀，能耗浪费严重的问题。